单级旋片式真空泵如何才能将极限压力调更低?

单级旋片式真空泵也叫做XD型旋片式真空泵。

XD型旋片式真空泵均为单级油封式旋片真空泵,是获得真空的基本设备。

XD型旋片式真空泵吸气口安装有金属丝网的粗过滤器。能防止固体的外来尘粒吸入泵腔。油分离器内安装有高效油气分离效果的排气过渡器。停泵时,内置于吸气口的吸气阀使泵与被抽系统隔离,防止真空泵油返入被抽系统。泵由空气冷却。XD型旋片式真空泵所有的泵均由直联的电动机通过弹性联轴器驱动。

单级旋片式真空泵最低压力是多大?为什么单级旋片式真空泵极限压力只能到1.3?

单级旋片式真空泵一般极限压力只能达到1.3Pa(个别可达0.1Pa),为什么极限压力不能再低呢?

主要由于:

(1)单级旋片式真空泵的结构上存在有害空间(见图1),该空间中的气体是无法排除的。当旋片转过排气口后,这一部分气体又被压缩,经过转子与泵腔间的缝隙又回到吸气空间,所以每次总有些气体排不尽。

1、有害空间2、上切点A

图1:单级旋片式真空泵结构的有害空间

(2)由于在单级旋片式真空泵工作时,泵腔的吸气空间与排气空间存在着一定的压力差。当排气空间的气体被压缩得很小时,它的压力很高,会通过各种可能的途径突破到吸气空间去,使泵真空度下降。

(3)泵油在泵体内循环流动过程中会溶解进大量气体和蒸气。在吸气侧,因为压力较低,溶解的气体又会跑出来,使泵的真空度不易提高。

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